擁有特征的石英水晶振子的制作方法和用途
來(lái)源：http://m.ike-digital.com 作者：konuaer 2014年03月11
石英水晶振子在日本晶體行業(yè)中是長(zhǎng)叫的一種關(guān)鍵詞,有時(shí)候也叫水晶振動(dòng)子,就像我們?cè)谥袊?guó)叫的晶振一樣,因此這兩個(gè)名詞是相同的意思,只是地域不同影響叫法不同.康華爾電子有個(gè)專(zhuān)欄“晶振行業(yè)博客”是介晶振的所有知識(shí),大家有興趣的話(huà)可以多了解一點(diǎn)有關(guān)晶振的知識(shí)。好了題外話(huà)我也就不多說(shuō)了，我們接下來(lái)要講的是《擁有特征的石英水晶振動(dòng)子制作方法和用途》。
本發(fā)明的，振動(dòng)型之類(lèi)被利用了石英水晶振動(dòng)子的制作方法有關(guān)，尤其是表面外振動(dòng)的泄漏震動(dòng)產(chǎn)生抑制的制造方法有關(guān)的。振動(dòng)型陀螺儀傳感器等被利用音叉型水晶振動(dòng)子，石英水晶片從規(guī)定的形狀的水晶振動(dòng)子說(shuō)出工程，水晶振動(dòng)子振蕩讓為了的電極形成的工程，電極形成的水晶振動(dòng)子容器實(shí)施工程等的不同制造被。特別是，水晶振動(dòng)子形狀的振動(dòng)決定水晶振動(dòng)子的性能的影響很大，為了水晶晶片水晶振動(dòng)子說(shuō)出外形形成工程重要的工程。
在這里，石英振動(dòng)子200的外形，在水晶晶片開(kāi)始蝕刻加工等引起的外形形成工程而被砍伐。這個(gè)水晶振動(dòng)子200，振動(dòng)型陀螺儀傳感器和被用振動(dòng)子，振動(dòng)腳和2個(gè)驅(qū)動(dòng)腳201，202和一條檢測(cè)腳203和有三腳架音叉型振動(dòng)子。水晶振動(dòng)子200，例如振動(dòng)型陀螺傳感器和用于場(chǎng)合，如圖1所示的X軸方向彎曲振動(dòng)驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，Z′軸方向彎曲振動(dòng)角速度外加場(chǎng)合被查出的振動(dòng)和使用。因此，角速度外加狀態(tài)是Z′軸方向的振動(dòng)不發(fā)生。
這是，水晶振動(dòng)子的加工精度及水晶的各向異性等原因，驅(qū)動(dòng)振動(dòng)（X軸方向的振動(dòng)）之外，還有水晶振動(dòng)子200角速度外加狀態(tài)中發(fā)生不得面外振動(dòng)（Z′軸方向的振動(dòng)）發(fā)生的。
驅(qū)動(dòng)腳201，202斜振動(dòng)的話(huà)，檢測(cè)腳203尖端的軌跡，Z′軸方向的直線性的振動(dòng)，或，X - Z′面內(nèi)橢圓振蕩。這個(gè)Z′軸方向的振動(dòng)成分泄漏振動(dòng)，被稱(chēng)為根據(jù)這個(gè)泄漏振動(dòng)檢測(cè)腳203檢測(cè)從電極是科里奧利輸出和無(wú)關(guān)的泄漏信號(hào)發(fā)生，陀螺傳感器的S / N比惡化，或溫度特性惡化等的問(wèn)題有了。
此外，標(biāo)準(zhǔn)的周波數(shù)發(fā)生用等的通常用途音叉型石英振蕩器的情況，振動(dòng)X軸方向彎曲振動(dòng)利用著，Z′方向成分的泄漏振動(dòng)水晶阻抗（CI值）的上升，使得特性的惡化導(dǎo)致的問(wèn)題有了。泄漏振動(dòng)，水晶振動(dòng)腳截面形狀的制造的偏差的影響的。特別是，顯示，水晶振動(dòng)子蝕刻制造時(shí)形成的殘水晶渣形狀的偏差的影響的。即，水晶蝕刻各向異性，結(jié)晶的方向而腐蝕速度不同的聚酰亞胺。為此，蝕刻后的水晶振動(dòng)子中的振動(dòng)腳的側(cè)面是均勻蝕刻不被殘有殘る渣。
一般來(lái)說(shuō)，梁等彎曲考慮場(chǎng)合，斷面的主軸被考慮。斷面的主軸，正交2根軸組成，梁主軸同方向彎曲力的話(huà)，梁力和同方向彎曲。另一方面，與主軸不同方向彎曲力眼鏡的情況下，梁力上了方向不同的方向彎曲。水晶振動(dòng)子的場(chǎng)合，壓電效果彎曲力花費(fèi)，X軸方向。因此，主軸的一方X軸和同樣的話(huà)，振動(dòng)X軸方向發(fā)生、不發(fā)生泄漏振動(dòng)。另一方面，主軸是X軸偏離Z′方向傾斜的話(huà)，彎曲力的方向和主軸花費(fèi)的方向一致，所以不振動(dòng)Z′軸成份的斜振動(dòng)，成為振動(dòng)發(fā)生泄漏。主軸，其梁（振動(dòng)腳）的截面形狀來(lái)決定。簡(jiǎn)單的例子，對(duì)稱(chēng)軸的斷面方面，其對(duì)稱(chēng)軸及還有垂直的軸其斷面的主軸。例如，長(zhǎng)方形的斷面的話(huà)，各邊的平分線各自主軸。
泄漏的水晶振動(dòng)子振動(dòng)不想得到的場(chǎng)合，主軸的一方X軸平行的必要。主軸是正交2根軸，所以X軸嗎Z′軸平行的對(duì)稱(chēng)軸斷面有，X軸平行的主軸的存在。也就是說(shuō)，截面形狀上下對(duì)稱(chēng)嗎，左右對(duì)稱(chēng)的話(huà)是不發(fā)生泄漏振動(dòng)。
已經(jīng)說(shuō)明的例子一樣地石英水晶振子制造時(shí)，有了這種對(duì)稱(chēng)軸振動(dòng)子得到是否考慮一下。水晶振動(dòng)子潮濕蝕刻進(jìn)行生產(chǎn)，振動(dòng)腳側(cè)面必定有殘る殘?jiān)Ｒ虼耍@可以殘?jiān)姆绞讲煌瑪嗝娴闹鬏S被決定。水晶振動(dòng)子的斷面的主軸的考慮，首先殘?jiān)趺磿?huì)有必要考慮。殘?jiān)男螤睿g刻的時(shí)間和條件不同，所以不能一概不能說(shuō)，不過(guò)，大體上同樣的傾向前進(jìn)，所以在這里發(fā)明者進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)條件會(huì)觀察的結(jié)果的基礎(chǔ)上殘?jiān)姆绞秸f(shuō)明會(huì)。
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以上的這些本發(fā)明的第6的制造方法來(lái)看，水晶晶片的表里兩面配設(shè)被腐蝕面罩之間互相規(guī)定量偏離配設(shè)會(huì)形成的水晶振動(dòng)子的外形特徴付け了水晶振動(dòng)子的泄漏振動(dòng)方向的預(yù)先見(jiàn)積もれる，所以這個(gè)泄漏振動(dòng)方向的基礎(chǔ)上具備缺口部電極驅(qū)動(dòng)的腿上就能形成。這個(gè)結(jié)果，制造上的偏差的面具的錯(cuò)位等影響不被再腐蝕工程所泄漏振動(dòng)能調(diào)整，高精度泄漏振動(dòng)被調(diào)整的水晶振動(dòng)子可以提供。
電極形成過(guò)程中，驅(qū)動(dòng)腳的電極預(yù)先缺口部，形成了這個(gè)缺口部調(diào)整區(qū)域再蝕刻的事，石英晶振的泄漏振動(dòng)調(diào)整，晶片內(nèi)泄漏量的偏差很大等的情況，預(yù)先形成的缺口部以外，激光加工等不同電極的加工、水晶面露出的缺口部再追加形成也行。這個(gè)電極追加加工工序，例如，第4的制造方法的時(shí)候，泄漏量測(cè)量過(guò)程（步驟ST 53）后可以追加。這個(gè)電極加工工序增添，泄漏量的調(diào)整范圍，每每個(gè)元件能夠擴(kuò)大，所以晶片內(nèi)的泄漏量的偏差很大的場(chǎng)合，有不良品和不泄漏量調(diào)整良品可能夠擴(kuò)展。
另外，泄漏振動(dòng)方向估計(jì)的外形而形成的特征是，加上單面口罩和口罩交錯(cuò)被限定，而其他的方法也發(fā)明適用。另外，本發(fā)明實(shí)施方式提出的流程圖和外形圖等，這被限定，而是本發(fā)明的摘要，滿(mǎn)足的東西的話(huà)，任何變更為好。
水晶振動(dòng)子的制造方法，小型高精度泄漏振動(dòng)被調(diào)整的水晶振動(dòng)子以低成本提供，為了能小型高精度的陀螺傳感器用水晶振動(dòng)子的制造方法和頗適合。
本發(fā)明的，振動(dòng)型之類(lèi)被利用了石英水晶振動(dòng)子的制作方法有關(guān)，尤其是表面外振動(dòng)的泄漏震動(dòng)產(chǎn)生抑制的制造方法有關(guān)的。振動(dòng)型陀螺儀傳感器等被利用音叉型水晶振動(dòng)子，石英水晶片從規(guī)定的形狀的水晶振動(dòng)子說(shuō)出工程，水晶振動(dòng)子振蕩讓為了的電極形成的工程，電極形成的水晶振動(dòng)子容器實(shí)施工程等的不同制造被。特別是，水晶振動(dòng)子形狀的振動(dòng)決定水晶振動(dòng)子的性能的影響很大，為了水晶晶片水晶振動(dòng)子說(shuō)出外形形成工程重要的工程。
在這里，石英振動(dòng)子200的外形，在水晶晶片開(kāi)始蝕刻加工等引起的外形形成工程而被砍伐。這個(gè)水晶振動(dòng)子200，振動(dòng)型陀螺儀傳感器和被用振動(dòng)子，振動(dòng)腳和2個(gè)驅(qū)動(dòng)腳201，202和一條檢測(cè)腳203和有三腳架音叉型振動(dòng)子。水晶振動(dòng)子200，例如振動(dòng)型陀螺傳感器和用于場(chǎng)合，如圖1所示的X軸方向彎曲振動(dòng)驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，Z′軸方向彎曲振動(dòng)角速度外加場(chǎng)合被查出的振動(dòng)和使用。因此，角速度外加狀態(tài)是Z′軸方向的振動(dòng)不發(fā)生。
這是，水晶振動(dòng)子的加工精度及水晶的各向異性等原因，驅(qū)動(dòng)振動(dòng)（X軸方向的振動(dòng)）之外，還有水晶振動(dòng)子200角速度外加狀態(tài)中發(fā)生不得面外振動(dòng)（Z′軸方向的振動(dòng)）發(fā)生的。
驅(qū)動(dòng)腳201，202斜振動(dòng)的話(huà)，檢測(cè)腳203尖端的軌跡，Z′軸方向的直線性的振動(dòng)，或，X - Z′面內(nèi)橢圓振蕩。這個(gè)Z′軸方向的振動(dòng)成分泄漏振動(dòng)，被稱(chēng)為根據(jù)這個(gè)泄漏振動(dòng)檢測(cè)腳203檢測(cè)從電極是科里奧利輸出和無(wú)關(guān)的泄漏信號(hào)發(fā)生，陀螺傳感器的S / N比惡化，或溫度特性惡化等的問(wèn)題有了。
此外，標(biāo)準(zhǔn)的周波數(shù)發(fā)生用等的通常用途音叉型石英振蕩器的情況，振動(dòng)X軸方向彎曲振動(dòng)利用著，Z′方向成分的泄漏振動(dòng)水晶阻抗（CI值）的上升，使得特性的惡化導(dǎo)致的問(wèn)題有了。泄漏振動(dòng)，水晶振動(dòng)腳截面形狀的制造的偏差的影響的。特別是，顯示，水晶振動(dòng)子蝕刻制造時(shí)形成的殘水晶渣形狀的偏差的影響的。即，水晶蝕刻各向異性，結(jié)晶的方向而腐蝕速度不同的聚酰亞胺。為此，蝕刻后的水晶振動(dòng)子中的振動(dòng)腳的側(cè)面是均勻蝕刻不被殘有殘る渣。
一般來(lái)說(shuō)，梁等彎曲考慮場(chǎng)合，斷面的主軸被考慮。斷面的主軸，正交2根軸組成，梁主軸同方向彎曲力的話(huà)，梁力和同方向彎曲。另一方面，與主軸不同方向彎曲力眼鏡的情況下，梁力上了方向不同的方向彎曲。水晶振動(dòng)子的場(chǎng)合，壓電效果彎曲力花費(fèi)，X軸方向。因此，主軸的一方X軸和同樣的話(huà)，振動(dòng)X軸方向發(fā)生、不發(fā)生泄漏振動(dòng)。另一方面，主軸是X軸偏離Z′方向傾斜的話(huà)，彎曲力的方向和主軸花費(fèi)的方向一致，所以不振動(dòng)Z′軸成份的斜振動(dòng)，成為振動(dòng)發(fā)生泄漏。主軸，其梁（振動(dòng)腳）的截面形狀來(lái)決定。簡(jiǎn)單的例子，對(duì)稱(chēng)軸的斷面方面，其對(duì)稱(chēng)軸及還有垂直的軸其斷面的主軸。例如，長(zhǎng)方形的斷面的話(huà)，各邊的平分線各自主軸。
泄漏的水晶振動(dòng)子振動(dòng)不想得到的場(chǎng)合，主軸的一方X軸平行的必要。主軸是正交2根軸，所以X軸嗎Z′軸平行的對(duì)稱(chēng)軸斷面有，X軸平行的主軸的存在。也就是說(shuō)，截面形狀上下對(duì)稱(chēng)嗎，左右對(duì)稱(chēng)的話(huà)是不發(fā)生泄漏振動(dòng)。
已經(jīng)說(shuō)明的例子一樣地石英水晶振子制造時(shí)，有了這種對(duì)稱(chēng)軸振動(dòng)子得到是否考慮一下。水晶振動(dòng)子潮濕蝕刻進(jìn)行生產(chǎn)，振動(dòng)腳側(cè)面必定有殘る殘?jiān)Ｒ虼耍@可以殘?jiān)姆绞讲煌瑪嗝娴闹鬏S被決定。水晶振動(dòng)子的斷面的主軸的考慮，首先殘?jiān)趺磿?huì)有必要考慮。殘?jiān)男螤睿g刻的時(shí)間和條件不同，所以不能一概不能說(shuō)，不過(guò)，大體上同樣的傾向前進(jìn)，所以在這里發(fā)明者進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)條件會(huì)觀察的結(jié)果的基礎(chǔ)上殘?jiān)姆绞秸f(shuō)明會(huì)。
以上的這些本發(fā)明的第6的制造方法來(lái)看，水晶晶片的表里兩面配設(shè)被腐蝕面罩之間互相規(guī)定量偏離配設(shè)會(huì)形成的水晶振動(dòng)子的外形特徴付け了水晶振動(dòng)子的泄漏振動(dòng)方向的預(yù)先見(jiàn)積もれる，所以這個(gè)泄漏振動(dòng)方向的基礎(chǔ)上具備缺口部電極驅(qū)動(dòng)的腿上就能形成。這個(gè)結(jié)果，制造上的偏差的面具的錯(cuò)位等影響不被再腐蝕工程所泄漏振動(dòng)能調(diào)整，高精度泄漏振動(dòng)被調(diào)整的水晶振動(dòng)子可以提供。
電極形成過(guò)程中，驅(qū)動(dòng)腳的電極預(yù)先缺口部，形成了這個(gè)缺口部調(diào)整區(qū)域再蝕刻的事，石英晶振的泄漏振動(dòng)調(diào)整，晶片內(nèi)泄漏量的偏差很大等的情況，預(yù)先形成的缺口部以外，激光加工等不同電極的加工、水晶面露出的缺口部再追加形成也行。這個(gè)電極追加加工工序，例如，第4的制造方法的時(shí)候，泄漏量測(cè)量過(guò)程（步驟ST 53）后可以追加。這個(gè)電極加工工序增添，泄漏量的調(diào)整范圍，每每個(gè)元件能夠擴(kuò)大，所以晶片內(nèi)的泄漏量的偏差很大的場(chǎng)合，有不良品和不泄漏量調(diào)整良品可能夠擴(kuò)展。
另外，泄漏振動(dòng)方向估計(jì)的外形而形成的特征是，加上單面口罩和口罩交錯(cuò)被限定，而其他的方法也發(fā)明適用。另外，本發(fā)明實(shí)施方式提出的流程圖和外形圖等，這被限定，而是本發(fā)明的摘要，滿(mǎn)足的東西的話(huà)，任何變更為好。
水晶振動(dòng)子的制造方法，小型高精度泄漏振動(dòng)被調(diào)整的水晶振動(dòng)子以低成本提供，為了能小型高精度的陀螺傳感器用水晶振動(dòng)子的制造方法和頗適合。
正在載入評(píng)論數(shù)據(jù)...
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